采用离心力来填充图形地处,温度比较低,能够获得表面形貌的平滑效果的平坦化技术是:

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采用离心力来填充图形地处,温度比较低,能够获得表面形貌的平滑效果的平坦化技术是:

A.反刻

B.高温回流

C.旋涂玻璃法

D.CMP

参考答案:

答案:A

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